Augstas tīrības pakāpes porains grafīts

Salīdzinot ar tipisku blīvu grafīta kategoriju, Semixlab piegādā porainu grafītu ar “elpojošu” efektu. Tas ir izstrādāts ar savienotu poru tīklu, kas nodrošina paredzamu caurlaidību un daudz labāku gāzes sadali. Ja jūsu process ir atkarīgs no vienmērīgas temperatūras un stabilas gāzes plūsmas, tas ir tieši tas, kas jums nepieciešams.

Mēs uzturējam stingru tīrību — aptuveni 5 ppm kopējo piemaisījumu —, lai tas neievadītu piesārņojumu jutīgās vidēs. Un tam joprojām ir pietiekami daudz mehāniskā pamata, lai saglabātu savu formu ilgstošu kampaņu un atkārtotu termisko ciklu laikā.

Ar ko tas atšķiras?

Poru struktūra ir materiāla sirds, un mēs pievēršam lielu uzmanību tam, lai tā būtu vienmērīga. Gāze plūst vienādi visā detaļā, tāpēc nerodas karstie punkti vai mirušās zonas, kas ietekmē procesa stabilitāti. Šī konsekvence atmaksājas ar lielāku ražu un mazāk neizskaidrojamām nobīdēm.

Pusvadītāju darbā tīrība nav apspriežama. Mēs sākam ar tīrām izejvielām un veicam tām padziļinātas attīrīšanas darbības. Rezultātā piemaisījumu līmenis ir zem 5 ppm — pietiekami zems, lai tas nesaindētu jūsu epigēno vai kristālu augšanas vidi.

Termiski tas ir stabils. Pat svārstoties starp istabas temperatūru un procesa temperatūru, izmēri tikpat kā nemainās. Tas ir ļoti svarīgi, ja ir stingras pielaides un nevar atļauties detaļu deformāciju vai plaisāšanu ražošanas procesa laikā.

Pat ja puse tilpuma ir tukša telpa (porainība aptuveni 50%), spiedes un lieces izturība saglabājas. To var saskrūvēt, saspiest, sakraut — tas nedrūp. Cilvēki to dažreiz novērtē par zemu, taču no tā var izgatavot diezgan sarežģītas formas, nenošķeļot malas.

Un apstrādes pusē ar to patiesībā ir diezgan viegli strādāt. Mēs to regulāri sagriežam blokos, plāksnēs, gredzenos, diskos vai pielāgotās formās pēc klientu rasējumiem. Nekādu problēmu.

Kāpēc izvēlēties mūs?

✔ Tīrības kontrole, kas atbilst pusvadītāju prasībām

✔ Poru struktūra, kas ir stabila no vienas partijas uz otru

✔ Iztur termisko triecienu bez plaisāšanas

✔ Pašu apstrāde — jums nav jāmeklē divi piegādātāji

✔ Atbalsta gan prototipu izstrādi, gan masveida ražošanu

✔ Padziļināta pieredze darbā ar SiC un pusvadītāju grafītu

Mēs ne tikai nosūtām bloku un vēlam veiksmi. Mēs parasti tiekamies ar klienta apstrādes komandu, saprotam, ko viņi patiesībā cenšas atrisināt, un pēc tam pielāgojam poru izmēru, klasi un apstrādājamo ģeometriju atbilstoši šim jautājumam. Tā ir daudz diskusiju, bet tas ir vienīgais veids, kā iegūt pareizo atbildi par kristālu audzēšanu, epi-inficēšanu vai progresīvu ražošanu.

Tipiski parametri

Šeit ir tipiska specifikāciju lapa vienai no mūsu standarta porainā grafīta kategorijām. Citas kategorijas un pielāgoti porainības diapazoni ir pieejami — vienkārši jautājiet.

Porainā grafīta tipiskās fizikālās īpašības
ltem	Parametrs
Tilpuma blīvums	0.89 g / cm2
Spiedes stiprums	8.27 MPa
Lieces izturība	8.27 MPa
Stiepes izturība	1.72 MPa
Īpatnējā pretestība	130Ω-inX10-5
Porainība	50%
Vidējais poru izmērs	70um
Siltumvadītspēja	12W/M*K

(Piezīme: sākotnējās īpatnējās pretestības mērvienības bija norādītas kā “130Ω-inX10^-5” — mēs to lasām kā 130 μΩ·in, kas ir izplatīts veids, kā to izteikt. Informējiet mūs, ja jūsu sistēmā tiek izmantota cita konvencija.)

Kur to izmanto?

SiC kristālu augšana – Šī, iespējams, ir visplašākā pielietojuma joma. Mūsu poraino grafītu var atrast SiC krāsnīs, kur to izmanto gāzes sadales plāksnēm, oderējumiem un citām detaļām, kur nepieciešama gāzes plūsma caur pašu komponentu, vienlaikus pārvaldot siltumu.

Pusvadītāju ražošana – Difūzijas krāsnis, epitaksijas reaktori un citas termiskās apstrādes iekārtas, kas nepanes piesārņojumu. Šeit svarīga ir zema metālu satura un termiskās stabilitātes kombinācija.

Vakuuma adsorbcija – Tā kā poras ir savstarpēji savienotas, tiek panākts lielisks vakuuma noturēšanas spēks visā virsmā. Tas izpaužas vafeļu apstrādes patronās, pacelšanas un novietošanas gala efektoros un precīzās pozicionēšanas sistēmās, kur nepieciešama maiga, bet uzticama satvēriena nodrošināšana.

Termiskā lauka komponenti – Izolācijas gredzeni, gāzes kolektori, atbalsta konstrukcijas — viss, kas atrodas karstajā zonā un kam jāsaglabā sava forma.

Degvielas šūnas – Dažās degvielas elementu konstrukcijās gāzu difūzijas slāņiem vai plūsmas lauka plāksnēm tiek izmantots porains grafīts. Mēs esam piegādājuši materiālu arī šajā jomā.

1. Kādus poru izmērus jūs varat piegādāt?

Standarta poru izmēri ir no aptuveni 10 μm līdz 100 μm. Ja jums ir nepieciešams kaut kas ārpus šī loga, mēs parasti varam izstrādāt pielāgotu poru struktūru.

2. Vai to var apstrādāt pielāgotās formās?

Jā. Bloki, plāksnes, gredzeni, diski, sarežģītas detaļas pēc jūsu rasējuma — mēs visu apstrādājam savās darbnīcās.

3. Vai tas ir pietiekami tīrs, lai to izmantotu kā pusvadītāju?

Pilnīgi noteikti. Augstas tīrības pakāpes ir īpaši izstrādātas vidēm, kas ir jutīgas pret piesārņojumu, tostarp pusvadītāju rūpnīcām un kristālu audzēšanas iekārtām.

4. Vai var panākt piemaisījumu līmeni pat zemāku par 5 ppm?

Bieži vien jā. Tas ir atkarīgs no pielietojuma un elementiem, kurus mēģināt samazināt līdz minimumam. Ja specifikācija to pieprasa, ir pieejamas papildu attīrīšanas darbības.

Ja jums ir nepieciešams augstas tīrības pakāpes porains grafīts pusvadītāju apstrādei, SiC audzēšanai vai vakuuma lietojumprogrammām, sazinieties ar mums. Mēs pārrunāsim specifikācijas, ieteiksim sākuma pakāpi un ātri sniegsim jums cenu piedāvājumu.