Kvarca daļas

Kvarcs joprojām ir visur pusvadītāju apstrādē. Tas nav nekas jauns, taču tas ir uzticams, un lielākā daļa ražotāju ir iepazinušies ar tā uzvedību. Ja vien tīrība tiek kontrolēta, tas labi darbojas difūzijas, oksidācijas un attīrīšanas posmos.

Daudz kvarca detaļu nonāk krāšņu sistēmās vai PECVD instrumentos. Galvenā prasība ir stabilitāte — ne vienmēr ilgs kalpošanas laiks, bet gan paredzama veiktspēja. Tas parasti ir pietiekami labs daudziem standarta procesiem.

Protams, kvarcam ir savi ierobežojumi. Noteiktos apstākļos tas var ātrāk nolietoties, īpaši salīdzinājumā ar SiC. Taču, tā kā to ir salīdzinoši viegli iegūt un tas nav pārāk dārgs, cilvēki to joprojām izmanto diezgan daudz.