Augstas tīrības kvarca vafeļu nesējs

Augstas tīrības kvarca plākšņu nesējs (pazīstams arī kā augstas tīrības kvarca plākšņu laiva) ir kritiski svarīga sastāvdaļa pusvadītāju ražošanas procesos. Tas ir paredzēts silīcija plākšņu drošai noturēšanai un transportēšanai, un tas nodrošina precīzu plākšņu izlīdzināšanu difūzijas, oksidācijas, LPCVD, ALD, atkvēlināšanas un tīrīšanas procesos.

Tā augstas tīrības kvarca konstrukcija novērš piesārņojumu un saglabā plākšņu integritāti, nodrošinot vienmērīgu ražu un optimālu veiktspēju tīrtelpas vidē.

Materiālās un fizikālās īpašības

●Materiāls: 99.99 % augstas tīrības pakāpes sintētisks kausēts kvarcs

Galvenās fizikālās īpašības un parametri:

●Tīrība: ≥ 4N (99.99%) – samazina metālu un daļiņu piesārņojumu

●Termiskā izturība: Stabila līdz 1,050 °C–1,200 °C nepārtrauktas darbības laikā

●Termiskā trieciena izturība: Zems termiskās izplešanās koeficients (0.55 × 10⁻⁶/°C)

nodrošina izturību pret straujām temperatūras izmaiņām

●Ķīmiskā stabilitāte: Lieliska izturība pret skābām un sārmainām procesa gāzēm

●Izmēru precizitāte: Pielaide ±0.05 mm robežās, lai nodrošinātu vienmērīgu vafeļu atstarpi

●Virsmas apdare: Īpaši gludas, pulētas virsmas (Ra ≤ 0.2 μm), lai novērstu vafeļu skrāpējumus

● Caurspīdīgums: augsta UV un IR caurlaidība optisko procesu uzraudzībai

Augstas tīrības kvarca vafeļu nesēju pielietojums dažādos procesos

Augstas tīrības kvarca plākšņu nesēju daudzpusība aptver plašu pusvadītāju ražošanas posmu spektru. To izturīgais dizains un materiāla integritāte nodrošina optimālu veiktspēju pat vissarežģītākajos apstākļos:

●Difūzijas un oksidācijas krāsnis: Šajos kritiski svarīgajos termiskajos procesos mūsu kvarca plākšņu laiviņu nesēji nodrošina stabilu, no piesārņojuma brīvu atbalstu plāksnēm. To augstā termiskā stabilitāte un zemā termiskā izplešanās novērš spriegumu uz plāksnēm, nodrošinot vienmērīgu plēves augšanu un dopinga profilus, kas ir būtiski ierīces funkcionalitātei.

●Ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD): CVD laikā uz plāksnēm tiek uzklātas plānas plēves. Mūsu kvarca nesēji saglabā savu strukturālo integritāti un tīrību pat reaģējošu gāzu un augstas temperatūras klātbūtnē, novēršot daļiņu veidošanos un nodrošinot augstas kvalitātes plēves uzklāšanu.

●Atkvēlināšana: Pēcimplantācijas atkvēlināšanai nepieciešama precīza temperatūras kontrole. Kvarca nesēji nodrošina vienmērīgu siltuma sadalījumu pa visu plāksni, veicinot kristāliskā režģa atjaunošanos un piemaisījumu aktivizēšanu, neieviešot piemaisījumus.

● Mitrā kodināšana un tīrīšana: Lai gan kvarca laiviņas parasti izmanto sausos procesos, tās tiek izmantotas arī noteiktās mitrajās stacijās, kur to ķīmiskā inerce pret plašu skābju klāstu (izņemot HF) ir labvēlīga plākšņu noturēšanai īpašu tīrīšanas vai kodināšanas darbību laikā.

●Jonu implantācija: Lai gan kvarca nesēji nav tieši iesaistīti pašā implantācijā, tos izmanto plākšņu ievietošanai un izņemšanai implantatorā, nodrošinot drošu apstrādi.

●Fotolitogrāfija: Mūsu nesēji nodrošina stabilu un tīru platformu plākšņu transportēšanai un apstrādei starp dažādiem fotolitogrāfijas posmiem (piemēram, pārklāšanai, eksponēšanai, attīstīšanai).

Katrā pielietojumā tiek izmantotas kvarca unikālās īpašības, lai uzturētu augstus tīrības, temperatūras kontroles un mehāniskās stabilitātes standartus, kas nepieciešami modernu pusvadītāju ierīču ražošanai.

Semixlab pakalpojuma priekšrocības

Semixlab ir uzticams augstas tīrības pakāpes kvarca plākšņu nesēju ražotājs ar plašu pieredzi pusvadītāju procesu komponentos. Mēs piedāvājam:

● Pielāgots dizains un ražošana – Pielāgoti izmēri, slotu numuri un nesēju konstrukcijas, lai atbilstu konkrētiem vafeļu izmēriem (4", 6", 8", 12") un krāsns tipiem.

● Tehniskā konsultācija – Konkrētam procesam paredzēti ieteikumi, lai optimizētu ražu un samazinātu dīkstāves laiku.

● Prototipu un paraugu pakalpojums – Ātra prototipu izgatavošana un paraugu novērtēšana kvalificētiem projektiem.

● Stingra kvalitātes kontrole – ISO sertificēta ražošana un 100% pārbaude pirms nosūtīšanas.