EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC konsoles airi
Semixlab SiC konsoles lāpstiņas ir precīzi konstruētas komponentes, kas paredzētas plākšņu apstrādei augstas temperatūras pusvadītāju procesos, piemēram, epitaksijā, oksidācijā un CVD. Šīs lāpstiņas ir izgatavotas no augstas tīrības pakāpes rekristalizēta vai CVD silīcija karbīda, un tām ir lieliska siltumvadītspēja, zema termiskā izplešanās un izcila ķīmiskā izturība. To vieglā un augstā izturība nodrošina izmēru stabilitāti un plākšņu aizsardzību ātras termiskās ciklēšanas laikā. Semixlab, kam uzticas globālie pusvadītāju līderi, nodrošina pilnībā pielāgotus risinājumus, ātru piegādi un ilgu produktu kalpošanas laiku, padarot to par ideālu partneri progresīvām pusvadītāju ražošanas vajadzībām.
Apraksts
II. Augstas tīrības pakāpes SiC konsoles formas lāpstiņas precīzai vafeļu apstrādei
SiC konsoles formas lāpstiņas ir kritiski svarīgas sastāvdaļas, ko izmanto termiskās apstrādes iekārtās, lai apstrādātu vafeļus epitaksijas, difūzijas un oksidācijas posmos pusvadītāju ražošanā. To izcilās termiskās un mehāniskās īpašības padara tās ideāli piemērotas lietošanai augstas temperatūras un korozīvā vidē tīrtelpu operācijās.
II. Produkta pārskats un funkcionālās priekšrocības
1. Izcilas materiāla īpašības augstas veiktspējas lietojumiem
Semixlab SiC konsoles lāpstiņas ir izgatavotas no augstas tīrības pakāpes, rekristalizēta silīcija karbīda (R-SiC) vai CVD SiC pārklājumiem, nodrošinot izcilu siltumvadītspēju (līdz 120 W/m·K), zemu termisko izplešanos (~4.0 x 10⁻⁶/K) un izcilu izturību pret koroziju un termisko triecienu. Šīs īpašības nodrošina stabilu plākšņu atbalstu augstas temperatūras procesos, samazinot plākšņu deformācijas vai piesārņojuma risku.
2. Izcila izmēru stabilitāte un līdzenums
Ar minimālu deformāciju pat temperatūrā, kas pārsniedz 1400 °C, konsolveida konstrukcija nodrošina vienmērīgu vafeļu novietojumu un pārvietošanu, kas ir vitāli svarīgi epitaksiālā slāņa vienmērīgumam. SiC mazā masa un augstā stingrība uzlabo sistēmas caurlaidspēju un temperatūras reakciju ātras termiskās apstrādes laikā.
3. Tīrtelpas līmeņa virsmas tīrība
Pateicoties blīvajai un gludajai SiC virsmas apdarei, Semixlab lāpstiņas samazina daļiņu veidošanos un gāzu izdalīšanos. Tas ir īpaši svarīgi vidēs, kurās nepieciešams 1. vai ISO 14644-1 2. klases tīrības līmenis.
4. Pielāgots epitaksiālajām, difūzijas un CVD krāsnīm
Mūsu SiC konsoles lāpstiņas tiek plaši izmantotas MOCVD, LPCVD un oksidācijas krāšņu platformās, un tās ir saderīgas ar vadošajiem iekārtu zīmoliem, piemēram, ASM, TEL un Veeco. Tās ir izstrādātas optimālai termiskai vienmērībai un mehāniskai precizitātei, palīdzot nodrošināt augstāku ražu un mazākas procesa svārstības.
III. Kāpēc izvēlēties Semixlab?
Mēs piedāvājam pielāgotus inženiertehniskos pakalpojumus, tostarp:
● Produkta pielāgošana atbilstoši izmēram, struktūrai un materiāla klasei
● Pārklājuma optimizācija termiskai un ķīmiskai izturībai
● Ātra prototipu izgatavošana un mazu partiju ražošanas iespējas
● Tehniskās konsultācijas un dizaina validācija
Kā vadošais Ķīnas SiC konsoles lāpstiņu ražotājs un rūpnīca, Semixlab uzstāj uz pielāgotu tehnoloģiju un produktu risinājumu nodrošināšanu. Neatkarīgi no tā, vai vēlaties optimizēt esošo termiskās apstrādes procesu, iegādāties augstas veiktspējas rezerves daļas vai kopīgi izstrādāt pielāgotus SiC risinājumus, Semixlab sniegs jums tehnisko un piegādes atbalstu.
Aplikācijas
● MOCVD epitaksijas vafeļu nesēji
● Oksidācijas un difūzijas krāsns lāpstiņas
● Vafeļu ielādes sistēmas LPCVD/CVD instrumentos
● Pielāgoti susceptoru atbalsta stieņi saliktu pusvadītāju audzēšanai
Mūsu pakalpojumi
Semixlab produktu veikals
