0200-09911 Quartz Cover Ring

AMAT 0200-09911 kvarca pārsega gredzens ir precīzi konstruēts augstas tīrības kvarca komponents, kas paredzēts lietošanai plazmas kodināšanas sistēmās. Tas darbojas kā aizsargājošs un procesu regulējošs gredzens, kas uzstādīts kodināšanas kamerā, īpaši 200 mm vafeļu apstrādes platformās.

Izgatavots no īpaši augstas tīrības pakāpes kausēta kvarca, šis komponents ir optimizēts ekstremālām pusvadītāju vidēm, ko raksturo:

● Augstas enerģijas plazmas iedarbība

● Reaģējošas ķīmiskās gāzes (piemēram, uz fluora bāzes veidotas ķīmiskās vielas)

● Ātras termiskās cikla apstākļi

Semixlab Technology šo produktu ražo, stingri kontrolējot:

● Materiāla tīrība (zems metālu piesārņojums)

● Izmēru pielaides (kritiski svarīgas malu procesa vadībai)

● Virsmas apdare (samazinot daļiņu veidošanos)

Tas nodrošina nemainīgu veiktspēju progresīvos pusvadītāju ražošanas procesos.

Parastie atteices režīmi

Kā patērējama sastāvdaļa, kas darbojas skarbos plazmas apstākļos, kvarca pārklājuma gredzens ir pakļauts vairākiem degradācijas mehānismiem:

1. Plazmas izraisīta erozija

● Virsmas raupjums jonu bombardēšanas dēļ

● Pakāpeniska materiāla zuduma mainīšana ģeometrijā

Ietekme: Samazināta kodināšanas vienmērība un nestabila procesa veiktspēja

2. Ķīmiskā nogulsnēšanās un piesārņojums

● Polimēru vai blakusproduktu uzkrāšanās uz virsmas

● Lobīšanās vai lobīšanās termiskās ciklēšanas laikā

Ietekme: Daļiņu veidošanās un plākšņu piesārņojums

3. Termiskās sprieguma plaisāšana

● Atkārtoti karsēšanas un dzesēšanas cikli izraisa mikroplaisas

● Plaisu izplatīšanās, kas noved pie konstrukcijas bojājuma

Ietekme: pēkšņs bojājums un neplānota dīkstāve

4. Daļiņu ģenerēšana

● Kvarca novecošanās rezultātā rodas mikroplaisas

● Virsmas degradācijas rezultātā kamerā nonāk daļiņas.

Ietekme: Ražas zudumi un defektu skaita pieaugums

Kāpēc izvēlēties Semixlab tehnoloģiju?

Uzņēmumā Semixlab Technology mēs apvienojam padziļinātas pusvadītāju procesu zināšanas ar progresīvām kvarca ražošanas iespējām, lai nodrošinātu:

● Augstas tīrības pakāpes kvarca materiāli īpaši tīrai apstrādei

● Precīza apstrāde precīzai OEM saderībai

● Optimizēta kalpošanas laika veiktspēja, lai samazinātu ekspluatācijas izmaksas (CoO)

● Stingra kvalitātes kontrole, kas atbilst pusvadītāju ražošanas standartiem

Mūsu rezerves daļas ir izstrādātas, lai atbilstu vai pārsniegtu OEM specifikācijas, nodrošinot netraucētu integrāciju un uzticamu veiktspēju sarežģītās kodināšanas vidēs.

Amats iekārtās un funkcionālā loma

Uzstādīšanas pozīcija

Kvarca pārsega gredzens parasti tiek uzstādīts:

● Ap vafeļu malas reģionu

● Uz elektrostatiskās patronas (ESC) perimetra vai tā tuvumā

● Kodināšanas kameras plazmas iedarbības zonā

Tas darbojas kā daļa no malu vadības mezgla, sadarbojoties ar tādiem komponentiem kā fokusa gredzeni un ēnu gredzeni.

Galvenās funkcijas

1. Kameras un komponentu aizsardzība

Gredzens darbojas kā upurbarjera, pasargājot kritiski svarīgus komponentus (piemēram, ESC un kameras sienas) no:

● Tieša plazmas bombardēšana

● Ķīmiskā korozija

● Jonu izraisīta izsmidzināšana

Tas ievērojami pagarina augstas vērtības kameras komponentu kalpošanas laiku.

2. Plazmas malu kontrole un procesa stabilitāte

Inženierijas veidotā ģeometrija (piemēram, pakāpienveida profili un robiņi) palīdz:

● Regulējiet plazmas apvalka sadalījumu vafeles malas tuvumā

● Samaziniet malu efekta novirzes

● Uzlabojiet kodināšanas vienmērīgumu un kritiskā izmēra (CD) kontroli

Tas ir īpaši svarīgi augstas precizitātes rakstu pārsūtīšanas procesos.

3. Gāzes plūsmas un blakusproduktu pārvaldība

Pārsega gredzens veicina:

● Kontrolēta gāzes plūsmas dinamika vafeles malā

● Samazināta polimēru uzkrāšanās nevēlamās vietās

● Stabilizēti kameras apstākļi ilgstošas ​​procesa laikā

Tas tieši atbalsta atkārtojamību un ražas uzlabošanu.