EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Augstas tīrības pakāpes mīksts filcs
Semixlab augstas tīrības pakāpes mīkstais filcs ir īpaši izstrādāts prasīgiem augstas temperatūras termiskā lauka pielietojumiem pusvadītāju ražošanā. Šis mīkstais filca materiāls, kas izgatavots no augstas kvalitātes oglekļa bāzes prekursoriem un attīrīts, izmantojot progresīvu apstrādi, nodrošina īpaši zemu piemaisījumu līmeni, lielisku siltumizolāciju un izcilu strukturālo pielāgojamību. Tā elastīgā struktūra ļauj precīzi pielāgoties sarežģītiem termiskā lauka dizainiem, nodrošinot optimizētus temperatūras gradientus un stabilus procesa apstākļus. Gaidām jūsu pieprasījumu.
Apraksts
Kāpēc tīrībai ir nozīme termiskajos laukos? Ražojot trešās paaudzes materiālus?
Pusvadītājiem (SiC/GaN) tradicionālās izolācijas filca ar augstu pelnu saturu (virs 500 ppm) mēdz atbrīvot metāliskus piemaisījumus temperatūrā virs 1600 °C. Tas rada režģa defektus un samazina plākšņu ražu.
Semixlab mīkstais filcs tiek pakļauts mūsu ekskluzīvajam augstas temperatūras ķīmiskās attīrīšanas procesam, samazinot kopējo piemaisījumu līmeni līdz mazāk nekā 5 ppm. Tas ne tikai nodrošina tīru augšanas vidi, bet arī sniedz ārkārtēju termisko stabilitāti, kas nepieciešama ilgstošai kristālu augšanai.
Semixlab Edge
Mēs esam vairāk nekā tikai piegādātājs — mēs esam jūsu partneris augstas temperatūras zonā. Mūsu uzņēmumu dibinājuši CAS pētnieki, un mēs izceļamies izolācijas risinājumu apvienošanā ar CVD pārklājumiem (TaC/SiC). Mēs ne tikai piegādājam izolācijas filcu; mēs optimizējam jūsu pilnu termisko lauku, izmantojot grafīta sildītājus un porainu TaC, lai samazinātu enerģijas patēriņu. Mūsu iekšējā 5 asu CNC apstrāde ļauj izgatavot pielāgotus, iepriekš samontētus komplektus, kas precīzi atbilst jūsu krāsns konstrukcijai bez kļūdām.
specifikācija
| īpašības | Augstākās kvalitātes PAN bāzes filcs | Augstas specifikācijas viskozes filcs |
| Kopējie piemaisījumi | ≤5 ppm (GDMS) | ≤ 10 ppm |
| Oglekļa saturs | ≥ 99.99% | ≥ 99.95% |
| Tilpuma blīvums | 0.10–0.15 g/cm³ | 0.08–0.12 g/cm³ |
| Termiskais kondensators (@1000°C) | 0.12–0.15 W/m·K | 0.09–0.13 W/m²·K |
| Maksimālā darba temperatūra. | 2800°C (inertā vidē/vakuumā) | 2600°C (inertā vidē/vakuumā) |
| Standarta biezums | 3 mm / 5 mm / 10 mm / 20 mm | 3 mm / 5 mm / 10 mm / 20 mm |
Aplikācijas
Kritiskās lietojumprogrammas
Laukā pārbaudīta veiktspēja:
Izstrādāts SiC un silīcija audzēšanai (PVT/CZ), mūsu filcs darbojas kā termiskais stabilizators, lai nomāktu kristālu dislokācijas. MOCVD/epitaksijas tehnoloģijās (saderīgs ar Aixtron, NuFlare) tas saglabā inertu iedarbību korozīvās H2/NH3 plūsmās, bloķējot piemaisījumu difūziju. Šķiedru stiepšanā un safīra sintēzes procesā tā īpašība bez gāzu izdalīšanās nodrošina vakuuma integritāti un novērš ražas zudumus.
Konkurences priekšrocības
Galvenās priekšrocības
Īpaši augsta tīrība (<5 ppm), pārbaudīta ar GDMS. Stingri kontrolēts Al, B, Fe un citu galveno piemaisījumu daudzums, lai izvairītos no savstarpējas kontaminācijas epitaksiālās augšanas laikā.
Lieliska siltumizolācija: Siltumvadītspēja tikai 0.12 W/m·K pie 1000°C, samazinot siltuma zudumus un kontrolējot termisko gradientu ±1°C robežās.
Zema daļiņu izkrišana: Optimizēta šķiedru un virsmas apstrāde samazina putekļu daudzumu vakuuma ciklos, aizsargājot CVD (TaC/SiC) grafīta susceptorus un sildītājus.
Augsta elastība un piemērotība: Mīksts un saspiežams 360° nemanāmai aptīšanai uz sarežģītām krāsnīm, novēršot termiskas noplūdes no stingras izolācijas.
FAQ
Optimizēti bieži uzdotie jautājumi
J: Kā Semixlab mīkstais filcs uzlabo grafīta sildītāju kalpošanas laiku?
A: Nodrošinot stabilāku termisko vairogu, mūsu mīkstais filcs samazina sildītāja nepieciešamo jaudas slodzi, lai uzturētu mērķa temperatūru, tādējādi palēninot grafīta sildelementu oglekļa sublimāciju un oksidēšanos.
J: Vai jūsu filcu var izmantot vidē ar augstu gāzes plūsmu?
A: Jā. Augsta gāzes ātruma procesiem (piemēram, MOCVD) mēs iesakām mūsu augsta blīvuma PAN bāzes filcu vai hibrīda risinājumu ar grafīta folijas pārklājumu, kas novērš šķiedru eroziju un nodrošina nulles daļiņu piesārņojumu.
Mūsu pakalpojumi
