EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Tantala karbīda pārklāts tīģelis
Semixlab tantala karbīda (TaC) pārklātais tīģelis ir īpaši izstrādāts augstas temperatūras un ķīmiski agresīvām vidēm pusvadītāju apstrādē. Tīģelis, kas izstrādāts ar blīvu CVD TaC pārklājumu, piedāvā izcilu termisko izturību, aizsardzību pret koroziju un strukturālo stabilitāti, padarot to ideāli piemērotu SiC epitaksijai, GaN audzēšanai un CVD/ALD lietojumprogrammām. Uzlabojiet procesa uzticamību un samaziniet piesārņojuma risku ar mūsu augstākās kvalitātes tīģeļa tehnoloģiju.
Apraksts
Semixlab pakalpojumi
Uzņēmumā Semixlab mēs izprotam pusvadītāju pētniecības un attīstības, kā arī ražošanas vides unikālās prasības. Mēs piedāvājam:
● Pielāgoti izgatavošanas pakalpojumi
Pēc pasūtījuma izgatavoti tīģeļi ar dažādu ģeometriju, biezumu un pārklājuma specifikācijām, lai atbilstu konkrētām procesa vajadzībām.
● Mazu partiju un prototipu pasūtījumi
Elastīgi pasūtījumu daudzumi, kas ir ideāli piemēroti izmēģinājuma līnijām, akadēmiskiem pētījumiem vai agrīnās izstrādes stadijai.
● Ātri izpildes laiki un piegāde visā pasaulē
Ātri ražošanas cikli un piegāde visā pasaulē atbalsta jūsu grafiku un mēroga palielināšanas vajadzības.
specifikācija
| TaC pārklājuma fizikālās īpašības | |
| Blīvums | 14.3 (g/cm³) |
| Īpatnējā emisijas spēja | 0.3 |
| Termiskās izplešanās koeficients | 6.3*10-6/K |
| Cietība (HK) | 2000 HK |
| Pretestība | 1 × 10-5 Ohm*cm |
| Termiskā stabilitāte | <2500 ℃ |
| Grafīta izmēra izmaiņas | -10~-20µm |
| Pārklājuma biezums | ≥20 µm tipiskā vērtība (35 µm ± 10 µm) |
Aplikācijas
Apvienojot unikālās tac pārklājumu fizikālās priekšrocības ar augstākās kvalitātes grafīta lieliskajām īpašībām, mūsu ar tantala karbīdu pārklātais tīģelis galvenokārt tiek izmantots šādos pusvadītāju procesos:
▶ MOCVD un HVPE tīģeļu sistēmas
▶ SiC, GaN, GaAs epitaksiālā augšana
▶ Augstas temperatūras atkvēlināšana un kausēšana
▶ Uzlabotas vafeļu ražošanas iekārtas
Semixlab TaC pārklātajam tīģelim ir izšķiroša nozīme progresīvā pusvadītāju ražošanā, jo īpaši procesos, kuros nepieciešama īpaši augsta temperatūras stabilitāte, minimāls piesārņojums un ķīmiskā izturība, piemēram, epitaksijā, kristālu augšanā un ķīmiskajā tvaiku pārklāšanā (CVD). Nodrošinot ķīmiski inertu barjeru un izcilu termisko noturību, ar TaC pārklātie tīģeļi nodrošina procesa integritāti, materiāla tīrību un iekārtu ilgmūžību dažādos augstas prasības apstrādes posmos.
Ar pielāgojamiem izmēriem, pārklājuma biezumu un atbalstu nelielām partijām, Semixlab nodrošina pielāgotus risinājumus, lai apmierinātu progresīvas pusvadītāju ražošanas prasības. Mēs patiesi ceram kļūt par jūsu ilgtermiņa partneri Ķīnā.
Konkurences priekšrocības
Galvenās priekšrocības: tantala karbīda fizikālās īpašības
Tantala karbīds (TaC) ir pazīstams ar savu īpaši augsto kušanas temperatūru (~3880 °C), izcilo cietību un ķīmisko inerci, padarot to par ideālu aizsargpārklājumu grafīta tīģeļiem, ko izmanto pusvadītāju vidē. TaC pārklājuma uzklāšana sniedz šādas veiktspējas priekšrocības:
● Īpaša termiskā izturība
Iztur īpaši augstas temperatūras bez deformācijas vai degradācijas, nodrošinot stabilus apstākļus kristālu augšanai un apstrādei augstā temperatūrā.
● Ķīmiskā inertitāte
Izturīgs pret agresīvām halogēnu bāzes gāzēm un skābēm, ko parasti izmanto epitaksijas un kodināšanas procesos, novēršot savstarpēju piesārņojumu.
● Minimāla daļiņu ģenerēšana
Blīvā, gludā TaC slāņa virsma nomāc lobīšanos un daļiņu atdalīšanos, nodrošinot zemu defektu līmeni tīrtelpas vidē.
● Lieliska siltumvadītspēja
Nodrošina vienmērīgu siltuma sadalījumu materiāla apstrādes laikā, uzlabojot ražu un konsistenci.
Pamatmateriāli no vadošajiem piegādātājiem
Mūsu tīģeļi tiek ražoti, izmantojot augstas tīrības pakāpes grafīta substrātus, kas iegūti no augstākās klases piegādātājiem, piemēram, TOYO TANSO (Japāna), nodrošinot strukturālu integritāti un pārklājuma saderību. Augstākās kvalitātes grafīta un modernā TaC pārklājuma sinerģija uzlabo gan izturību, gan veiktspēju vissarežģītākajos apstākļos.
Mūsu pakalpojumi
Semixlab produktu veikals
