Pusvadītāju kvarca vafeļu laiva

Semixlab pusvadītāju kvarca plākšņu laiviņas ir galvenie gultņu instrumenti, kas paredzēti augstas temperatūras procesiem, piemēram, difūzijai, oksidēšanai, CVD, atkvēlināšanai utt., pusvadītāju ražošanā. Tās ir izgatavotas no augstas tīrības pakāpes sintētiskā kvarca ar izcilu izturību pret augstu temperatūru, ķīmisko stabilitāti un zemu termiskās izplešanās koeficientu, un tās var stabili nest plāksnītes skarbos procesa apstākļos, nodrošinot procesa konsekvenci un produkta ražu.

Pielietojamais aprīkojums: Savietojams ar visu veidu horizontālās/vertikālās difūzijas krāsnīm (horizontālās/vertikālās difūzijas krāsnīm), LPCVD sistēmu un ātrās termiskās apstrādes (RTP) iekārtām.

Kvalitātes nodrošināšana

Strict quality control: 100% helium mass spectrometry leak detection (leakage rate <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Material purity report (ICP-MS test) is issued for each batch.

Sertifikācijas standarti: Saskaņā ar SEMI F47 specifikācijām, izmantojot ISO 9001:2015 kvalitātes vadības sistēmas sertifikāciju.

Kalpošanas laiks: vidējais kalpošanas laiks normālos apstākļos ir vairāk nekā 2 gadi (atkarībā no procesa biežuma un temperatūras apstākļiem).

Kāpēc izvēlēties mūsu kvarca laivu?

Pielāgoti pakalpojumi: pielāgots izmērs un konstrukcija atbilstoši iekārtas modelim (TEL, Kokusai, ASM utt.) un procesa prasībām.

Ātra reaģēšana: Standarta piegādes laiks ir 3 nedēļas, steidzamus pasūtījumus var saīsināt līdz 10 darba dienām.

Globālais servisa tīkls: sniedz tehniskas konsultācijas, uzstādīšanas norādījumus un pēcpārdošanas apkopes atbalstu. Materiālu specifikācijas.

Projekta specifikācija

Materiāla sintēze: kausēts kvarcs

Tīrība ≥99.99% SiO₂

Plākšņu izmēru saderība 8", 12" (var pielāgot 6" vai 18")

Darba temperatūra ≤1200°C (nepārtraukti) / 1300°C (maksimāli)

Termiskās izplešanās koeficients (CTE) 0.55 × 10⁻⁶/°C (20–1000°C)

Virsmas raupjums (Ra) ≤0.2 μm

Standarta ietilpība 25/50/100 tabletes

Piemērojamās procesa gāzes O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl utt.

Augstas temperatūras oksidēšanās/difūzija: silīcija dopings (fosfora, bora difūzija), vārtu oksīdu augšana.

Plānas kārtiņas uzklāšana: LPCVD polikristāliskā silīcija, silīcija nitrīda (Si₃N₄) uzklāšana.

Atkvēlināšanas process: atkvēlināšana pēc jonu implantācijas (RTA), metālu sakausēšana.

Trešās paaudzes pusvadītājs: silīcija karbīds (SiC), gallija nitrīds (GaN) epitaksijas process.

1. Materiālu īpašības

Īpaši augstas tīrības pakāpes kvarcs (>99.99% SiO₂): novērš piesārņojumu ar metālu joniem (Na+, K+, Fe³+ u.c.) un atbilst progresīvu procesu tīrības prasībām (<5 nm mezgli).

Augsta temperatūras izturība: nepārtraukta darba temperatūra 1200°C, momentānā temperatūras izturība 1300°C, nav deformācijas vai kristalizācijas riska.

Ķīmiskā inertitāte: Iztur procesa gāzes, piemēram, HCl, H₂, O₂, SiH₄, un skābu/sārmainu vidi. Neizraisa koroziju ilgstošā lietošanā.

2. Precīzs dizains

Optimizējiet struktūru:

Spraugu atstarpes precizitāte ir ±0.05 mm, nodrošinot precīzu vafeļu pozicionēšanu (8/12 collas) un novēršot skrāpējumus vai nobīdi.

Termiski triecienizturīgs dizains, pielāgojas straujai pacelšanai un kritumam (silšanas ātrums ≤20°C/min).

Zema daļiņu veidošanās: virsma ir īpaši precīzi pulēta (Ra ≤0.2 μm), lai samazinātu daļiņu piestiprināšanos un nokrišanu.

3. Dažāda konfigurācija

Ietilpība pēc izvēles: Atbalsta 25 gabalus, 50 gabalus, 100 gabalus un citas standarta specifikācijas, var arī pielāgot nestandarta slota numuru.

Tipa pielāgošana: atvērta laiva, slēgta laiva vai īpašs laivas tips (piemēram, laivas dibena novadīšanas kanāla konstrukcija).

1. jautājums: Vai varat nodrošināt nestandarta izmēru vai īpašu dizainu?

A1: Semixlab atbalsta pielāgotus pakalpojumus, tostarp izmēra pielāgošanu, temperatūras augšējo robežu (nepieciešama materiāla jaunināšana) vai saskarnes veidu. Lai uzzinātu par īpašām prasībām, lūdzu, sazinieties ar Semixlab tehnisko komandu.

2. jautājums: Cik ilgs ir izpildes laiks?

A2: Standarta produktu piegādes laiks ir 4–6 nedēļas, bet pielāgotu produktu projektēšanas un verifikācijas laiks ir 2–3 nedēļas.

3. jautājums: Vai jūs sniedzat pēcpārdošanas tehnisko atbalstu?

A3: Jā, mēs piedāvājam mūža tehniskās konsultācijas un ārkārtas reaģēšanas pakalpojumus. Instalēšanas vai lietošanas problēmu gadījumā ar atbalsta komandu var sazināties jebkurā laikā pa e-pastu vai tālruni.

4. jautājums: Vai produkts atbilst pusvadītāju nozares standartiem?

A4: Jā, ražošanas process atbilst SEMI standartiem un ir sertificēts ar ISO 9001 kvalitātes vadības sistēmu. Katra partija pirms aiziešanas no rūpnīcas tiek pārbaudīta attiecībā uz hermētiskumu, temperatūras izturību un tīrību.