Stingra grafīta filca

Semixlab stingrais grafīta filcs (RGF) ir izstrādāts kā kritiski svarīgs augstas temperatūras izolācijas un termiskās vadības komponents SiC monokristālu audzēšanai fizikālā tvaika transporta (PVT) procesā. Šis stingrais filcs, kas paredzēts izmantošanai nākamās paaudzes 4H un 6H SiC vafeļu ražošanā, apvieno īpaši zemu siltumvadītspēju, augstu strukturālo integritāti un izcilu ķīmisko tīrību, padarot to par stūrakmeni augstas veiktspējas SiC sublimācijas krāsnīs. Tā pielietojums nodrošina precīzu termisko gradientu kontroli, stabilus augšanas apstākļus un uzlabotu kristālu kvalitāti ilgstošos ražošanas ciklos.

SiC PVT procesā nemainīga un vienmērīga termiskā lauka uzturēšana ir ārkārtīgi svarīga, lai iegūtu monokristālus bez defektiem. Grafīta stingrais filcs kalpo kā galvenā krāsns izolācija, kas ieskauj sublimācijas tīģeli un termiskā lauka struktūras. Tā zemā siltumvadītspēja samazina nevēlamus siltuma zudumus, saglabājot mērķa temperatūras gradientu starp SiC avotu un sēklas kristālu. Kontrolējot radiālos un aksiālos temperatūras profilus, RGF samazina bazālās plaknes dislokāciju, kraušanas defektu un mikrocauruļu veidošanos, tieši ietekmējot iegūto SiC plākšņu strukturālo integritāti un elektronisko veiktspēju.

Papildus siltumizolācijas spējām Semixlab grafīta filca stingrā struktūra nodrošina mehānisku stabilitāti augstas temperatūras vidē, kas pārsniedz 2000 °C. Atšķirībā no elastīga vai mīksta filca, RGF saglabā savu formu ilgstošas ​​termiskās ciklēšanas laikā, novēršot sabrukšanu vai deformāciju, kas varētu traucēt termisko lauku vai apdraudēt krāsns kalpošanas laiku. Tā ķīmiskā inerce nodrošina minimālu daļiņu izdalīšanos un novērš SiC kristāla piesārņojumu, kas ir ļoti svarīgi augstas pretestības substrātu ražošanai jaudas elektronikai un platjoslas ierīču lietojumprogrammām.

Semixlab Graphite Rigid Felt, kas ražots, izmantojot augstas tīrības pakāpes grafīta ogli un progresīvas blīvēšanas metodes, uzrāda vienmērīgu blīvumu, izcilu izmēru stabilitāti un ilgtermiņa izturību. Tā termiskās veiktspējas un mehāniskās stingrības kombinācija ļauj pusvadītāju rūpnīcām sasniegt vienmērīgus augšanas ātrumus, reproducējamus temperatūras profilus un samazinātu dīkstāves laiku PVT sistēmās. Optimizējot krāsns termisko efektivitāti, RGF arī veicina enerģijas taupīšanu, vienlaikus uzlabojot vafeļu vienmērīgumu un ražību.

Semixlab stingrais grafīta filcs piedāvā veiktspēju, tīrību un strukturālo stabilitāti, kas nepieciešama augstas kvalitātes SiC monokristālu audzēšanai, nodrošinot ražotājiem robustu materiāla risinājumu nākamās paaudzes vafeļu ražošanai, pagarinātu krāsns kalpošanas laiku un izcilu termisko pārvaldību ārkārtīgi augstas temperatūras vidē.