EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
PZT pjezoelektriskās plāksnes
Līdz ar 5G sakaru, precīzās medicīnas un viedierīču straujo izaugsmi pieaug tirgus pieprasījums pēc augstas jutības, mazjaudas MEMS pārveidotājiem. Mūsu pjezoelektriskajās plānveida plāksnēs (PZT uz Si/SOI) tiek izmantoti moderni plānslāņu plēves uzklāšanas procesi, lai panāktu izcilu vienmērīgumu un izcilas pjezoelektriskās īpašības uz silīcija substrātiem, kas kalpo par pamata kodolu efektīvai elektromehāniskai enerģijas pārveidošanai.
Apraksts
Pielāgoti pakalpojumi
Papildus standartizētu 8 collu PZT plākšņu piedāvāšanai mēs piedāvājam plašas pielāgošanas iespējas, kas pielāgotas mūsu klientu īpašajām prasībām:
● Substrātu daudzveidība: Mēs atbalstām nogulsnēšanu gan uz Si plāksnēm, gan SOI plāksnēm (ar pretestību > 5000 omi/cm).
● Plānās plēves pielāgošana: Konkrētus plānās plēves veidus un biezumus var pielāgot atbilstoši dizaina specifikācijām.
● Elastīga izmēru izvēle: Mēs piedāvājam apstrādes iespējas gan 6 collu, gan 8 collu vafeļu formātiem.
● Klienta piegādātas plāksnes: Mēs pieņemam klienta piegādātus substrātus pjezoelektrisko plāno kārtiņu audzēšanai.
Jūsu tehniskais partneris: Mēs esam apņēmušies sniegt visaptverošu atbalstu — sākot no materiālu izstrādes līdz strukturālai pielāgošanai. Neatkarīgi no tā, vai atrodaties laboratorijas pētniecības un attīstības fāzē vai masveida ražošanas posmā, mūsu tehniskā komanda ir gatava nodrošināt jūsu vajadzībām vispiemērotākos pjezoelektriskos risinājumus.
specifikācija
Mūsu standarta produkti tiek ražoti, izmantojot 6 collu un 8 collu procesus, izmantojot sarežģītus daudzslāņu strukturālos dizainus, kas nodrošina stabilu veiktspēju sarežģītās MEMS ražošanas darbplūsmās.
Slāņa struktūras parametri (standarta 8 collas)
| slānis | Biezums | Piezīmes |
| Augšējais elektrods | pielāgotus | Augšējais elektrods |
| Pjezo slānis | pielāgotus | Galvenais pjezoelektriskais slānis |
| Bufera slānis | pielāgotus | Graudu orientācijas kontroles slānis |
| Apakšējais elektrods | 100 nm ± 10% | Apakšējais elektrods |
| Adhēzijas slānis | pielāgotus | Adhēzijas slānis |
| Substrāts | pielāgotus | Pieejamas 4/6/8 collu opcijas |
Galvenie darbības rādītāji (raksturlielumi)
● Pjezoelektriskā konstante (d31): 200 pC/N — Nodrošina ļoti efektīvu mehāniskās pārvietošanas jaudu.
● Pjezoelektriskais koeficients (e31): −15 C/m² — Nodrošina ļoti jutīgu elektriskā lādiņa reakciju.
● Augsta vienmērība: PZT plēvei ir spēcīga (100) orientācija, kas pārbaudīta ar XRD difrakcijas analīzi, un tā nodrošina izcilu veiktspējas vienmērību visā plāksnē.
| PZT raksturlielumi | Polikristāla PZT |
| Pjezoelektriskā konstante d31 | 200 pC/N |
| pjezoelektriskais koeficients e31 | -14 °C/m² |
| Kirī temperatūra | X ℃ |
SEM attēls un XRD
Aplikācijas
Piecas galvenās pielietojuma jomas
1. Pjezoelektriskie ultraskaņas pārveidotāji (pMUT)
Izmantojot PZT plāno plēvju augsto pjezoelektrisko konstanti, tiek izveidoti augstfrekvences, miniaturizēti ultraskaņas masīvi. Plaši pielietojams zem displeja esošās pirkstu nospiedumu atpazīšanā, žestu uztveršanā un automobiļu ultraskaņas radaru sistēmās.
2. RF filtri un sakari (RF MEMS)
5G un 6G sakaru sistēmās augstas veiktspējas pjezoelektriskie materiāli ir kritiski svarīgi FBAR un SAW filtru ražošanā, nodrošinot plašāku joslas platumu un zemākus ievietošanas zudumus.
3. Akustiskās MEMS (skaļruņi/mikrofoni)
Nodrošinot MEMS skaļruņiem izcilu pārejas reakciju un skaņas spiediena līmeņus (SPL), vienlaikus uzlabojot MEMS mikrofonu signāla un trokšņa attiecību (SNR), lai nodrošinātu augstas izšķirtspējas audio uztveršanu.
4. Precīza šķidruma kontrole (tintes printeru galviņas)
Izmantojot ātrgaitas vibrācijas d31 režīmā, lai sasniegtu nanolitru līmeņa precizitāti tintes pilienu daudzuma kontrolē; kalpo kā galvenā aktivizācijas sastāvdaļa rūpnieciskas klases augstas izšķirtspējas tintes printeru drukas sistēmām.
5. Medicīniskā estētika un mikropumpēšana
Medicīnisko smidzinātāju un estētisko ultraskaņas sūkņu vadīšana. Izmantojot PZT plāno plēvju kompakto izmēru un augsto uzticamību, mēs nodrošinām efektīvu atomizāciju un precīzu šķidro medikamentu piegādi.
