Vakuuma karstās presēšanas krāsns SiC kristālu sēklu savienošanai

Sēklu kristālu saistīšana ir viens no kritiski svarīgajiem procesiem, kas ietekmē kristālu augšanu. Pamatojoties uz sēklu kristālu saistīšanas īpašībām, Semixlab ir izstrādājis specializētu vakuuma karstās presēšanas iekārtu sēklu kristālu saistīšanai. Šī iekārta efektīvi samazina dažādus defektus, kas rodas saistīšanas procesā, tādējādi uzlabojot sēklu kristālu saistīšanas ražu un kristālu galīgo kvalitāti.

II. Ievads sēklu kristālu līmēšanas vakuuma karstās preses iekārtās

1. Izmanto sēklas kristālu saistīšanai pirms SiC kristālu augšanas;

2. Saistītās sēklas saglabā adhēziju 2300°C temperatūrā bez atdalīšanās, panākot 100% bez burbuļiem saistītu saiti ar augstu līdzenumu un tīrām vafeļu virsmām, kas brīvas no piemaisījumu adsorbcijas;

3. Sildīšanas paplātē tiek izmantota diska tipa pretestības sildīšana, kas nodrošina vienmērīgu temperatūras sadalījumu, drošu darbību un lietotājam draudzīgu lietošanu;

4. Zem paplātes uzstādītie spiediena sensori precīzi parāda uz sagatavi pielikto spiedienu.

II. Sēklu kristālu vakuuma karstās preses iekārtu funkcionālais pārskats

Semixlab sēklu kristālu vakuuma karstās presēšanas krāsns ir paredzēta silīcija karbīda sēklu kristālu vakuuma asistētai karstajai presēšanai.

1. Divslāņu ar ūdeni dzesējama metāla kamera efektīvi samazina krāsns virsmas temperatūru, samazina augstas temperatūras radītos apdraudējumus un samazina ietekmi uz vidi;

2. Spēj automātiski pielietot un noturēt spiedienu, pakāpeniski noslogot un pārvietot ar automatizētu vadību;

3. Dažādas vakuuma sistēmas konfigurācijas ļauj izvēlēties dažādus vakuuma līmeņus, pamatojoties uz procesa prasībām;

4. Vienmērīgs spiediena sadalījums un augstas temperatūras kontroles precizitāte;

5. Spiediena pielietošanā tiek izmantoti precīzi mehāniski vilces mehānismi precīzai un stabilai spiediena padevei, nodrošinot drošu darbību un saderību ar vidi;

6. Universāls savienojums starp augšējo preses galviņu un vilces stieni garantē adaptīvu paralēlismu starp augšējo galviņu un apakšējo paplāti presēšanas laikā, nodrošinot vienmērīgu spiediena sadalījumu;

7. Augšējā preses galviņā ir iebūvēts amortizējošs spiediena pielietojums, lai nodrošinātu vienmērīgu, maigu spēka padevi bez triecieniem, novēršot sagataves lūzumu;

8. Siltuma pārneses plāksnē integrētie temperatūras sensori sasknē ar temperatūras regulatoru, nodrošinot precīzu sildīšanas temperatūru un programmētu vadību;

9. Gan paletē, gan augšējā preses galviņā ir iekļautas izolācijas ierīces, lai samazinātu siltuma zudumus.

III. Semixlab sēklu kristālu vakuuma karstās presēšanas iekārtu veiktspēja un funkcijas

1. Pakāpeniska vakuuma ekstrakcija ar kontrolētu sūknēšanas ātrumu;

2. Liela kamera plašam jaunināšanas potenciālam;

3. Stabila preses galviņa ar automatizētu darbību;

4. Spiediena paaugstināšanas un samazināšanas vadība ar automātisku spiediena slīpumu un receptes regulēšanu;

5. Precīza temperatūras kontrole ar programmējamiem temperatūras un spiediena cikliem;

6. Pielāgojami vakuuma, spiediena un temperatūras parametri dažādiem līmēšanas procesiem;

7. Blīva saite bez burbuļiem;

8. Īpaši zems lūzumu līmenis — praktiski nav ierīces izraisītu lūzumu;

9. Savietojamība: Atbalsta 6–12 collu vafeļus;

10. Maksimālais lejupvērstais spiediens: 1.6 T;

11. Galīgais vakuums: 5 Pa (auksts);

12. Heating platform temperature uniformity: <±3℃, σ<4 (at 200℃);

13. Pressure fluctuation: <0.5%.

Karstās presēšanas krāsns parametri sēklu līmēšanai