Kvarca disks pusvadītāju procesam

Pusvadītāju rūpniecība pieprasa izcilas tīrības un precizitātes komponentus. Kvarca diski ir šīs jomas stūrakmens, kam ir izšķiroša nozīme dažādos augstas temperatūras un ķīmiski sarežģītos pusvadītāju ražošanas procesos. Semixlab kvarca disks pusvadītāju procesiem ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes sintētiskā kausētā silīcija dioksīda (SiO2), lai nodrošinātu izcilu termisko stabilitāti, ķīmisko izturību un īpaši zemu piesārņojuma līmeni. Šie pusvadītāju kvarca diski tiek izmantoti CVD plāno kārtiņu uzklāšanas, ALD, PVD izsmidzināšanas, difūzijas/atkvēlināšanas, RTP, plazmas kodināšanas (RIE/ICP) procesos.

Materiāla īpašības un raksturlielumi

Mūsu pusvadītāju kvarca diski ir izgatavoti no augstas tīrības pakāpes kausēta kvarca — materiāla, kas ir pazīstams ar savām izcilajām īpašībām. Mūsu kvarca disku galvenās īpašības ir šādas:

● Augsta tīrība: Mūsu kvarca diski satur minimālu piemaisījumu daudzumu, kas novērš jutīgu pusvadītāju plākšņu piesārņošanu, kas ir svarīgi ierīces integritātes un ražības saglabāšanai.

● Lieliska termiskā stabilitāte: Pateicoties zemam termiskās izplešanās koeficientam, kvarca diski var izturēt ekstremālas temperatūras svārstības bez plaisāšanas vai deformācijas. Tas padara tos ideāli piemērotus augstas temperatūras procesiem, piemēram, atkvēlināšanai, difūzijai un oksidēšanai.

● Ķīmiskā inertitāte: Kvarcs ir ļoti izturīgs pret lielāko daļu skābju un ķīmisko vielu, ko izmanto pusvadītāju apstrādē, tostarp fluorūdeņražskābi (HF) un sērskābi (H2SO4). Šī ķīmiskā inertitāte nodrošina stabilu un nereaģējošu vidi plāksnēm.

● Augsta caurspīdība: Kausētajam kvarcam ir augsta caurlaidība ultravioletajam (UV) starojumam, kas ir ļoti svarīgi fotolitogrāfijai un citiem optiskiem procesiem.

Mūsu kvarca diski ir pieejami dažādos izmēros un biezumos, un tipiskie parametri ietver:

● Tīrība: >99.995%

● Termiskās izplešanās koeficients: ~0.54 x 10−6/°C (pie 20–300°C)

● Mīkstināšanas temperatūra: ~1600°C

● Pieejamie diametri: Līdz 300 mm

Pielietojumi pusvadītāju ražošanā

Augstas tīrības pakāpes kvarca diski ir neaizstājami vairākos galvenajos pusvadītāju procesos. To īpašie pielietojumi ietver:

● CVD (ķīmiskā tvaiku pārklāšana): Kvarca diski tiek izmantoti kā susceptorplāksnes vai oderējumi CVD reaktoros. To termiskā stabilitāte un ķīmiskā inerce nodrošina vienmērīgu sildīšanu un no piesārņojuma brīvu vidi plāno kārtiņu uzklāšanas procesiem.

● PVD (fizikālā tvaiku pārklāšana): PVD procesos, piemēram, izsmidzināšanā, kvarca diski kalpo kā mērķa pamatnes vai substrāta turētāji. Tie var izturēt uzklāšanas procesa augsto kinētisko enerģiju, vienlaikus saglabājot izmēru stabilitāti.

● Oksidācija un difūzija: Kā krāsns oderējums vai plākšņu laivu komponents, kvarca diski ir neatņemama augstas temperatūras oksidācijas un difūzijas procesu sastāvdaļa. Tie novērš metāla piesārņojuma nonākšanu no krāsns sienām uz silīcija plāksnēm.

● Atkausēšana: Kvarca diski nodrošina tīru un stabilu virsmu termiskai atkvēlināšanai — procesu, ko izmanto kristāla režģa bojājumu novēršanai un piemaisījumu aktivizēšanai pusvadītāju ierīcēs.

Semixlab priekšrocība: jūsu partneris pusvadītāju ražošanā

Uzņēmumā Semixlab mēs esam vairāk nekā tikai pusvadītāju kvarca disku ražotājs. Mēs esam partneris, kas veltīts jūsu panākumiem, piedāvājot pakalpojumu komplektu, kas izstrādāts, lai racionalizētu jūsu darbību un uzlabotu procesu efektivitāti.

● Pielāgošana: Mēs saprotam, ka katrs ražošanas process ir unikāls. Mūsu komanda var izgatavot pielāgotus kvarca diskus, kas pielāgoti jūsu īpašajām izmēru, tīrības vai pielietojuma prasībām.

● Tehniskā konsultācija: Mūsu tehniskie eksperti sniedz padziļinātas konsultācijas, lai palīdzētu jums izvēlēties ideālu kvarca produktu jūsu konkrētajam procesam, nodrošinot optimālu veiktspēju un ilgmūžību.

● Ātrā prototipēšana un paraugu apkalpošana: Mēs piedāvājam ātrus prototipu un paraugu apstrādes laikus, kas ļauj jums ātri un efektīvi testēt un validēt mūsu produktus. Tas paātrina jūsu pētniecības un attīstības ciklus un samazina laiku līdz nonākšanai tirgū.

Procesu inženieriem un pircējiem, kas meklē uzticamas nesējplates, izolācijas vairogus un optiskās kvalitātes balstus, Semixlab piedāvā stingras tolerances, mazdeficītu kvarca diskus, kas uzlabo ražu un pagarina instrumentu darbspējas laiku. Mēs patiesi ceram kļūt par jūsu ilgtermiņa partneri Ķīnā.