PG pārklāts grafīta gredzens

Ja kādreiz esat darbinājis SiC kristālu audzēšanas krāsni, jūs zināt, ka mazām detaļām var būt liela nozīme. Ar PG pārklātais grafīta gredzens ir viena no šīm detaļām – ievietots PVT sistēmas karstajā zonā, tas palīdz uzturēt stabilus temperatūras profilus, uzlabo konsekvenci starp palaišanas reizēm un samazina piesārņojumu garo, dārgo augšanas ciklu laikā.

Mēs sākam ar augstas tīrības pakāpes grafītu un pārklājam to ar blīvu pirolītiskā grafīta (PG) pārklājumu. Salīdzinot ar parasto grafītu, pārklātā versija labāk vada siltumu, ir izturīga pret ķīmisku iedarbību un izdala daudz mazāk daļiņu. Un, tā kā SiC plākšņu ražotāji virzās uz lielākiem kristāliem un lielāku caurlaidspēju, šie gredzeni ir kļuvuši par neatņemamu patēriņa priekšmetu – ne tikai veiktspējas dēļ, bet arī vairāku krāšņu darbības nodrošināšanai ar reproducējamiem rezultātiem.

Kas izceļas?

Augstas tīrības pakāpes PG slānis – Pārklājumam ir labi sakārtota oglekļa struktūra, kas saglabājas tīra un stabila pat tad, ja kļūst ļoti karsts. Tas viegli nenoārdās un neizdala piemaisījumus augšanas vidē.

Pielāgots SiC PVT – Gredzena termiskās īpašības ir pielāgotas silīcija karbīda kristālu augšanas īpašajām vajadzībām. Šeit kritiski svarīga ir vienmērīga siltuma sadale, un šī sastāvdaļa ir izstrādāta, lai palīdzētu to panākt.

Iztur atkārtotu termisko ciklu – Mēs runājam par >2200 °C, ciklu pēc cikla. Gredzens saglabā savu formu un izmērus, tāpēc jums nav pastāvīgi jāpielāgo procesa parametri.

Zema daļiņu ģenerēšana – Tā kā PG virsma ir tik blīva, grafīta putekļu un irdeno pārslu daudzums ir ievērojami samazināts. Tas nozīmē tīrāku lodīšu kameru un mazāk defektu gatavajā lodītē.

Pielāgojami – Vai nepieciešams atšķirīgs sienas biezums, noteikts pārklājuma dziļums vai nestandarta iekšējais diametrs? Mēs varam strādāt, izmantojot jūsu rasējumus, jūsu krāsns ģeometriju vai pat esošu paraugu.

Partiju konsekvence – Neatkarīgi no tā, vai pasūtāt dažas vienības pētniecībai un attīstībai vai regulāras piegādes ražošanai, mēs stingri ievērojam specifikācijas, lai jums nebūtu atkārtoti jāpārbauda katra jaunā partija.

Kur šie gredzeni īsti tiek izmantoti?

● SiC kristālu audzēšanas krāsnis, īpaši PVT tipa

● Pusvadītāju karsto zonu mezgli

● Augstas temperatūras grafīta krāsns komponenti

● SiC ruļļu ražošanas līnijas

● Platjoslas spraugas pusvadītāju ražošanas instrumenti

● Kristālu augšanas eksperimentu pētniecības un attīstības sistēmas

Kāpēc izvēlēties PG pārklājumu, nevis standarta grafītu?

Šeit ir ātrs blakus apskats:

Sakārtotākā grafīta struktūra PG pārklājumā ne tikai veicina siltuma pārnesi, bet arī palīdz stabilizēt termiskos gradientus, kas kļūst īpaši svarīgi, audzējot lielāka diametra kristālus.

Ražošana un kvalitātes kontrole – ko mēs īsti darām?

Mēs precīzi apstrādājam grafīta substrātu un pēc tam veicam stingri kontrolētu CVD uzklāšanas procesu, lai uzklātu PG slāni. Pēc tam katra partija iziet cauri:

● Izmēru pārbaudes

● Pārklājuma biezuma mērīšana

● Virsmas kvalitātes pārbaude (gan vizuāla, gan instrumentāla)

● Tīrības pārbaude

● Partijas konsekvences testi

Ja jums ir vairākas krāsnis, jūs jau zināt, cik kaitinoši ir, ja rezerves daļas nesakrīt. Tāpēc mēs pievēršam īpašu uzmanību tam, lai katra partija būtu pēc iespējas vienāda – tas ietaupa jūsu laiku atkārtotai kalibrēšanai un palīdz uzturēt stabilu augšanu no vienas krāsns uz otru.

Ko Semixlab piedāvā pārklāta grafīta jomā?

Mēs specializējamies augstas veiktspējas pārklātā grafītā pusvadītājiem, SiC kristālu audzēšanā un progresīvā termiskajā apstrādē. Mūsu produktu līnija ietver:

● PG pārklāti grafīta gredzeni

● PG pārklāti tīģeļi

● PG pārklājuma vadotnes un oderējumi

● PG pārklāti termiskā lauka komponenti

● SiC pārklātas grafīta detaļas

● Pēc pasūtījuma izgatavoti grafīta komplekti

Gadu gaitā esam sadarbojušies ar diezgan daudziem SiC plākšņu ražotājiem un iekārtu piegādātājiem, tāpēc saprotam reālās pasaules prasības augstas temperatūras un augstas tīrības vidē.

Tipiskas tehniskās specifikācijas (atsauces vērtības)

Tos var pielāgot jūsu īpašajām prasībām.

Daži jautājumi, ko dzirdam bieži

1. Kāda ir patiesā atšķirība starp PG pārklājumu un PyC pārklājumu?

Īsāk sakot, PG (pirolītiskajam grafītam) ir sakārtotāka kristāliskā struktūra, kas tam nodrošina labāku siltumvadītspēju un siltuma pārvaldību. PyC (pirolītiskais ogleklis) arī nodrošina labu virsmas aizsardzību, taču tā termiskā veiktspēja parasti ir zemāka. Ja termiskā lauka vienmērīgums ir kritiski svarīgs, PG parasti ir labāk piemērota izvēle.

2. Vai jūs varat izgatavot šos gredzenus pēc mana dizaina?

Pilnīgi noteikti. Ārējais diametrs, iekšējais diametrs, augstums, pārklājuma biezums, pat daļējas pārklājuma zonas — mēs varam sekot jūsu rasējumiem vai atkārtot esošu paraugu.

3. Kurās nozarēs tos izmanto visvairāk?

Galvenokārt SiC kristālu audzēšana, pusvadītāju krāšņu ražošana un jebkura augstas temperatūras materiālu apstrāde, kur ir svarīga tīrība un termiskā stabilitāte.