EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Pirolītiski ar oglekli pārklāts grafīta gredzens
Semixlab pirolītiskās oglekļa pārklājuma grafīta gredzeni ir izstrādāti augstas temperatūras pusvadītāju epitaksijas vidēm, kur kritiski svarīga ir termiskā stabilitāte, tīrības kontrole un procesa konsekvence. Šie komponenti, kas izstrādāti ar blīvu pirolītiskās oglekļa pārklājumu uz augstas tīrības pakāpes grafīta substrātiem, nodrošina izcilu ķīmisko izturību, zemu daļiņu veidošanos un izcilu termisko vienmērīgumu vafeļu apstrādes laikā. Sazinieties ar Semixlab jau šodien, lai izpētītu pielāgotus pirolītiskās oglekļa pārklājuma grafīta risinājumus jūsu pusvadītāju epitaksijas lietojumiem.
Apraksts
Šeit attēlotais grafīta gredzens tiek izmantots silīcija karbīda kristālu audzēšanas iekārtās. Tas parasti tiek uzstādīts ap termiskā lauka zonu krāsns iekšpusē un kristālu audzēšanas procesā darbojas kopā ar citām grafīta daļām.
Šāda veida gredzens parasti tiek izmantots PVT audzēšanas sistēmās, kur krāsns temperatūra ilgstoši saglabājas ārkārtīgi augsta. Darbības vides dēļ lietotāji parasti nomaina gredzenu pēc noteikta skaita palaišanas reižu, nevis izmanto to pastāvīgi.
Pamatmateriāls ir apstrādāts grafīts ar PyC virsmas slāni. Salīdzinot ar neapstrādātu grafītu, pārklātā virsma ir stabilāka augstas temperatūras darbības laikā un mazāk ticams, ka kameras iekšpusē izdalīsies daļiņas.
Praktiskajā ražošanā daudzi klienti šos gredzenus iegādājas atkārtoti kā daļu no ikdienas krāsns apkopes un ražošanas plānošanas.
Produkta iespējas
PyC virsmas slānis
Lai uzlabotu stabilitāti augstas temperatūras apstākļos, grafīta virsmai tiek uzklāts pirolītiskais oglekļa pārklājums.
SiC kristālu augšanai
Galvenokārt izmanto silīcija karbīda kristālu augšanas krāsnīs un saistītajās termiskā lauka sistēmās.
Stabilas virsmas stāvoklis
Pārklājums palīdz uzturēt tīrāku darba virsmu ilgstošu sildīšanas ciklu laikā.
Atkārtota partijas ražošana
Klientiem, kas ekspluatē vairākas krāsnis, var nepārtraukti piegādāt tās pašas specifikācijas.
Apstrāde saskaņā ar rasējumiem
Izmēru un struktūru var pielāgot atbilstoši dažādiem krāsns dizainiem.
Ražošana un piegāde
Dažādām krāsns konstrukcijām ir nepieciešamas dažādas grafīta konfigurācijas, tāpēc lielākā daļa gredzenu tiek ražoti pēc klientu rasējumiem vai esošajiem paraugiem.
Ražošanas laikā pirms nosūtīšanas tiek pārbaudīti izmēri un pārklājuma biezums. Klientiem, kas nepārtraukti ražo lielus daudzumus, viena no galvenajām bažām parasti ir stabila atkārtojamība starp partijām.
Daži lietotāji pasūta tikai dažus eksemplārus testēšanai, savukārt citi regulāri iegādājas lielākus daudzumus ilgstošai ražošanai.
Semixlab
Semixlab piegādā grafītu un pārklātus grafīta produktus, ko izmanto pusvadītāju un kristālu augšanas nozarēs. Produktus var ražot atbilstoši pielietojuma prasībām, krāsns konstrukcijai un klienta specifikācijām.
specifikācija
Tehniskā informācija
| Pirolītiskās oglekļa (PyC) pārklājuma parametrs | ||
| Punkts | Vienība | vērtība |
| Kristāla struktūra | Sešstūra | |
| Noregulēšana | Orientēts vai neorientēts 001 virzienā | |
| Tilpuma blīvums | g / cm3 | ~ 2.25 |
| Mikrostruktūra | Polikristālisks/daudzslāņu grafēns | |
| Cietība | GPa | 1.2 |
| Elastīgs modulis | GPa | 11 |
| Tipisks biezums | um | 30±5 mm |
| Virsmas raupjums | um | 1.5 |
| Produkta tīrība | ppm | ≤5ppm |
Aplikācijas
-Silīcija karbīda kristālu augšana
-PVT krāsns sistēmas
-Termiskā lauka grafīta mezgli
-Augstas temperatūras krāsns komponenti
-Grafīta palīgmateriāli
Mūsu pakalpojumi
Semixlab produktu veikals
