Vairogs 150 mm izsmidzināšanas kodināšanai

Shield 150MM Sputter Etch 0200-09083 ir precīza pusvadītāju kameras sastāvdaļa, kas paredzēta 150 mm vafeļu izsmidzināšanas kodināšanas sistēmām. Uzstādīts plazmas apstrādes kamerās, šis vairogs spēlē būtisku lomu iekšējo kameras struktūru aizsardzībā no tiešas plazmas iedarbības, izsmidzināšanas daļiņām un procesa blakusproduktiem. Izgatavots no augstas tīrības pakāpes pusvadītāju kvalitātes materiāliem. Tā optimizētā ģeometrija palīdz kontrolēt nogulsnējumu uzkrāšanos, uzturēt kameras tīrību un atbalstīt stabilus plazmas apstākļus vienmērīgai vafeļu apstrādei. Kā galvenā kameras aizsardzības sastāvdaļa, Shield 0200-09083 palīdz pagarināt iekārtu kalpošanas laiku, samazināt piesārņojuma risku un uzlabot kopējo procesa stabilitāti. Mēs gaidām jūsu pieprasījumu.

Produkta pārskats

SHIELD 150MM SMUTTER ETCH 0200-09083 ir kameras aizsardzības komponents, kas tiek uzstādīts plazmas apstrādes sistēmās, kuras izmanto izsmidzināšanas kodināšanai un virsmas sagatavošanas procesiem. Tas ir īpaši izstrādāts 150 mm vafeļu apstrādes platformām un veido daļu no kameras iekšējās aizsardzības struktūras.

Galvenā informācija par produktu

Izsmidzināšanas kodināšanas moduļos vairogs darbojas kā aizsargbarjera, kas izolē jutīgu kameras aparatūru no plazmas iedarbības un nogulsnējumu uzkrāšanās.

Kā daļa no iekšējās kameras arhitektūras, vairogs veicina stabilas apstrādes vides uzturēšanu un uzticamu iekārtu darbību.

Funkcija pusvadītāju iekārtās

Izsmidzināšanas kodināšanas sistēmās Shield 0200-09083 veic vairākas svarīgas funkcijas, kas tieši ietekmē kameras veiktspēju un vafeļu apstrādes kvalitāti.

Kameras aizsardzība

Vairogs darbojas kā upurēšanas aizsargslānis, kas novērš izsmidzinātu daļiņu un reaktīvās plazmas tiešu triecienu kameras sienām un kritiskajai aparatūrai.

Absorbējot nogulsnes un plazmas iedarbību, tas palīdz pagarināt dārgu kameras komponentu kalpošanas laiku.

Daļiņu un nogulsnēšanās kontrole

Izsmidzināšanas kodināšanas procesos kameras iekšpusē var uzkrāties daļiņas un materiāla nogulsnes. Aizsargs uztver lielu daļu šī materiāla, palīdzot:

● Samazināt daļiņu veidošanos

● Uzlabojiet kameras tīrību

● Uzturēt stabilus procesa apstākļus

Plazmas robežas stabilizācija

Ekrāna fizikālā ģeometrija palīdz noteikt plazmas apgabalu kamerā. Tas veicina stabilu jonu sadalījumu un vienmērīgu procesa veiktspēju.

Galveno komponentu aizsardzība

Aizsargs palīdz aizsargāt jutīgus kameras elementus, piemēram:

● Elektrostatiskās patronas

● Sildītāju komplekti

● Kameras oderējumi

● Gāzes sadales būves

Ierobežojot tiešu plazmas iedarbību, vairogs nodrošina drošu iekārtu darbību ilgtermiņā.

Materiāls un priekšrocības

0200-09083 izsmidzināšanas kodināšanas aizsargs parasti tiek ražots no augstas tīrības pakāpes kausēta kvarca, materiāla, ko plaši izmanto pusvadītāju iekārtās, pateicoties tā lieliskajai veiktspējai plazmas vidē.

Augstas tīrības kvarca priekšrocības

Izcila plazmas izturība: Kvarcam piemīt spēcīga izturība pret jonu bombardēšanu un plazmas eroziju, kas ļauj tam izturēt ilgstošu iedarbību uz izsmidzināšanas procesiem.

Īpaši zems piesārņojuma risks: Pusvadītāju klases kvarcs satur ārkārtīgi maz metālu piemaisījumu, kas palīdz samazināt daļiņu piesārņojumu vafeļu apstrādes laikā.

Lieliska termiskā stabilitāte: Kausētais kvarcs saglabā savu strukturālo integritāti paaugstinātā temperatūrā un ātrā termiskā ciklā, kas parasti rodas plazmas kamerās.

Elektriskā izolācija: Kvarcs ir elektriski izolējošs materiāls, kas palīdz uzturēt stabilus elektriskos laukus un uzlabo plazmas vienmērīgumu procesa kamerā.

Ķīmiskā saderība: Kvarcs demonstrē spēcīgu izturību pret reaģējošām gāzēm, ko izmanto izsmidzināšanas kodināšanas procesos, nodrošinot ilgtermiņa stabilitāti un minimālu degradāciju.

Šīs materiāla īpašības padara kvarcu par ideālu izvēli plazmas iedarbībai pakļautām pusvadītāju kameru sastāvdaļām.