Kvarca vafeļu laivu nesējs

Semixlab kvarca laivu balsts ir augstas veiktspējas nesējinstruments, kas paredzēts pusvadītāju, fotoelektrisko, LED un precīzās elektronikas rūpniecībai. Tas ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes sintētiskā kvarca materiāla. Kā galvenie palīgmateriāli augstas temperatūras procesos, kvarca laivu balsti ir kļuvuši par ideāliem nesējiem vafeļiem, silīcija vafeļiem, stikla substrātiem un citiem precīzijas komponentiem difūzijas, atkvēlināšanas, oksidācijas, CVD (ķīmiskās tvaiku uzklāšanas) un citos procesos, pateicoties to lieliskajai termiskajai stabilitātei, ķīmiskajai inertitātei un īpaši ilgam kalpošanas laikam, palīdzot klientiem sasniegt efektīvus un stabilus ražošanas procesus.

Lietošanas scenāriji vai aprīkojums: 

Pusvadītāju difūzijas, atkvēlināšanas, oksidēšanas un CVD (ķīmiskās tvaiku pārklāšanas) process.

Uzņēmuma spēks

Semixlab Technology Co., Ltd ir 2 pētniecības un attīstības centri, 2 ražošanas bāzes, 12 ražošanas līnijas, vairāk nekā 150 darbinieku, un investīcijas pētniecībā un attīstībā veido vairāk nekā 30%. Mūsu produktu izkārtojums galvenokārt tiek izmantots LED, IC integrālo shēmu, trešās paaudzes pusvadītāju, fotoelektrisko un citās nozarēs. Semixlab ir spēcīgas pētniecības un attīstības, ražošanas un integrētās testēšanas un verifikācijas iespējas. Vienlaikus mēs pastāvīgi uzlabojam savas tehnoloģijas un aprīkojumu, ieguldot desmitiem miljonu gadā.

Pielāgoti pakalpojumi

Lai apmierinātu dažādas vajadzības, mēs piedāvājam elastīgus pielāgošanas pakalpojumus un atbalstām šādus parametru pielāgojumus:

Izmēru specifikācijas: pielāgojiet dažādiem substrātiem, piemēram, 8 collām un 12 collām, vai pielāgojiet īpašas formas konstrukcijas atbilstoši klienta rasējumiem.

Virsmas apstrāde: pēc izvēles smilšu strūklas apstrāde, pārklāšana (piemēram, silīcija karbīda pārklājums) un citi procesi, lai uzlabotu piemērojamību konkrētos gadījumos.

Piederumu integrācija: Var saskaņot ar kvarca balstiem, starpsienām un citiem komponentiem, lai izveidotu pilnīgu nesošo sistēmu.

Kvalitātes nodrošināšanas sistēma

Izejvielu testēšana: importētas augstas tīrības pakāpes kvarca smiltis, analizētas ar ICP-MS (induktīvi saistītas plazmas masas spektrometriju).

Procesa vadība: CNC precīzā apstrāde + automatizēta testēšana, atslēgas izmēra pielaide ≤±0.05 mm.

Tīrs iepakojums: 100. klases īpaši tīras vides iepakojums, lai novērstu transportēšanas laikā radušos piesārņojumu.

Tipiski pielietojuma scenāriji

Pusvadītāju ražošana: izmanto augstas temperatūras atkvēlināšanai, oksidēšanai un plānplēves nogulsnēšanas procesiem vafeļu ražošanā difūzijas krāsnīs un vertikālajās krāsnīs.

Fotoelektriskā rūpniecība: PERC un TOPCon šūnu pārnešana un pārnešana PECVD, fosfora difūzija un citi procesi.

LED epitaksija: precīza safīra substrātu pozicionēšana un augstas temperatūras epitaksiālā augšana MOCVD iekārtās.

Pētniecības joma: Materiālu sintēze un testēšana laboratorijas augstas temperatūras krāsnīs un vakuuma vidē.

1. Lieliska augstas temperatūras izturība

Kvarca laivas balsts ilgstoši var izturēt augstas temperatūras vidi virs 1200 ℃, un tam ir ārkārtīgi zems termiskās izplešanās koeficients (aptuveni 5.5 × 10⁻⁷/℃). Tas joprojām var saglabāt strukturālo stabilitāti straujas dzesēšanas un sildīšanas apstākļos, izvairoties no plaisāšanas vai deformācijas, ko izraisa termiskais spriegums, un nodrošinot procesa atkārtojamību.

2. Īpaši augsta tīrība un ķīmiskā inerce

Izgatavots no 99.99% vai vairāk augstas tīrības pakāpes kvarca smiltīm, bez nokrišņiem, bez piesārņojuma, efektīvi novērš metāla jonu vai daļiņu piemaisījumu piesārņošanu uz vafeļu virsmas augstā temperatūrā, īpaši piemērots progresīviem procesiem ar stingrām tīrības prasībām (piemēram, mikroshēmu ražošanai zem 7 nm).

3. Precīza konstrukcijas projektēšana

Laivas balsta virsma ir pulēta ar augstu precizitāti (raupjums Ra≤0.2 μm), aprīkota ar patentētu spraugu struktūru, kas var stabili nest dažāda izmēra substrātus (piemēram, 8/12 collu vafeles), nodrošinot vienmērīgu sildīšanu un gāzes cirkulāciju, kā arī uzlabojot procesa vienmērīgumu.

4. Īpaši ilgs kalpošanas laiks

Salīdzinot ar tradicionālajiem grafīta vai keramikas nesējiem, kvarca materiāliem ir spēcīga izturība pret koroziju, zems zudumu līmenis skābā/sārmainā vidē, un nepārtrauktas lietošanas cikls var sasniegt 12–24 mēnešus, ievērojami samazinot klienta visaptverošās izmaksas.