TaC pārklāts LED epi susceptors

TaC pārklājuma LED epi-susceptors ir izgatavots, izmantojot augstas tīrības pakāpes tantala karbīda (TaC) pārklājuma tehnoloģiju, kas ir īpaši izstrādāta MOCVD (metāla organiskās ķīmiskās tvaiku uzklāšanas) iekārtām un ir piemērota LED epitaksiālo plākšņu augstas temperatūras uzklāšanas procesam. Produktam ir lieliska izturība pret augstu temperatūru, izturība pret koroziju un termiskā stabilitāte, kas var ievērojami samazināt piesārņojumu un daļiņu izdalīšanos, kā arī pagarināt kalpošanas laiku. Tā ir ideāla izvēle LED epitaksiālo plākšņu ražas un ražošanas efektivitātes uzlabošanai.

Uzklāšana:

TaC pārklājuma LED epi-susceptors ir īpaši izstrādāts MOCVD iekārtām un galvenokārt tiek izmantots LED epitaksiālo vafeļu ražošanā, īpaši gallija nitrīda (GaN) bāzes zilo un ultravioleto LED epitaksiālai audzēšanai. Tas var apmierināt arī SiC/GaN jaudas pusvadītāju ierīču ražošanas vajadzības un ir piemērots augstas temperatūras CVD, MBE un citu materiālu nogulsnēšanas eksperimentiem zinātniskās pētniecības institūtos.

Pakalpojumi, ko var sniegt:

klienta lietojumprogrammu scenāriju analīze, materiālu saskaņošana, tehnisku problēmu risināšana.

Kompanijas profils:

Semixlab ir 2 laboratorijas, ekspertu komanda ar 20 gadu pieredzi materiālu jomā, ar pētniecības un attīstības, ražošanas, testēšanas un verifikācijas iespējām.

tehniskie parametri

Galvenie pielietojuma lauki

Ekoloģiskās ķēdes verifikācijas apstiprinājums

Semixlab TaC pārklājuma LED epi susceptora ekoloģiskās ķēdes verifikācija aptver visu izejvielu posmu līdz ražošanai, tas ir izturējis starptautisko standartu sertifikāciju un tam ir vairākas patentētas tehnoloģijas, lai nodrošinātu tā uzticamību un ilgtspējību pusvadītāju un jauno enerģijas jomu jomās.

Tipisks pieteikšanās process

Izejvielu sagatavošana (augstas tīrības pakāpes grafīta pārbaude) → Substrāta izgatavošana (izostatiskā presēšana) → TaC pārklāšanas process (CVD nogulsnēšana) → Pēcapstrāde (precīza pulēšana) → Kvalitātes pārbaude → Iepakošana un piegāde

Tā kā LED tehnoloģija attīstās mazāku izmēru un lielākas precizitātes virzienā, piemēram, Mini LED un Micro LED, MOCVD iekārtu stabilitātes un procesa vadības prasības kļūst arvien augstākas. TaC pārklājuma LED epi-susceptora popularizēšana var ne tikai uzlabot esošo LED ražošanas efektivitāti, bet arī nodrošināt uzticamāku ražošanas pamatu nākamās paaudzes displeju tehnoloģijai.

Lai saņemtu detalizētas tehniskās specifikācijas, informatīvos dokumentus vai paraugu testēšanas kārtību, lūdzu, sazinieties ar mūsu tehniskā atbalsta komandu, lai uzzinātu, kā Semixlab var uzlabot jūsu procesu efektivitāti.

Semixlab TaC pārklājuma LED epi susceptora kodola priekšrocības

Īpaši augsta temperatūras izturība

Ar TaC pārklātie LED epitaksiālie susceptori ir izgatavoti no augstas tīrības pakāpes tantala karbīda materiāla, kas var stabili darboties ilgu laiku augstā temperatūrā virs 1200 °C. Pat ekstremālos MOCVD procesa temperatūras apstākļos pārklājums neplaisās un nelobīsies, nodrošinot epitaksiālā augšanas procesa vienmērīgumu un konsekvenci un efektīvi uzlabojot produkta ražu.

Lieliska izturība pret koroziju

LED epitaksiālo plākšņu ražošanas procesā susceptors ilgstoši jāpakļauj kodīgām gāzu vidēm, piemēram, H2 un NH3. TaC pārklājumam ir ārkārtīgi spēcīga ķīmiskā inerce, un tas var efektīvi pretoties gāzu erozijai un novērst oksidēšanās vai reakcijas radītos piemaisījumus, tādējādi nodrošinot epitaksiālās plāksnītes tīrību un optoelektronisko veiktspēju.

Zema termiskā deformācija

TaC pārklājuma termiskās izplešanās koeficients ir ļoti līdzīgs grafīta substrāta termiskās izplešanās koeficientam, un susceptors var uzturēt ārkārtīgi zemu termiskās deformācijas ātrumu pat straujas temperatūras paaugstināšanās un pazemināšanās laikā. Šī īpašība var ievērojami samazināt epitaksiālās vafeļu deformācijas risku, nodrošināt epitaksiālā slāņa vienmērīgu augšanu un uzlabot produkta konsistenci.

Augsta virsmas apdare

Susceptora virsma ir precīzi pulēta, un raupjums ir kontrolēts zem 0.5 μm, efektīvi samazinot defektu līmeni epitaksiālās augšanas laikā. Gludā virsma var arī samazināt epitaksiālās plāksnes un susceptora saķeri, atvieglojot plāksnes izņemšanu un samazinot tās lūzuma risku.

Ilga mūža dizains

Salīdzinot ar tradicionālajiem grafīta susceptoriem, TaC pārklājumam ir labāka nodilumizturība un izturība pret koroziju, un tā kalpošanas laiku var palielināt vairāk nekā 3 reizes. Tas ne tikai samazina palīgmateriālu nomaiņas biežumu, bet arī samazina susceptora novecošanās izraisītās procesa svārstības, kas ilgtermiņā var ievērojami samazināt ražošanas izmaksas.